3-metha-cryloxypropyltrimethoxysilane 1 3-метакрилоксипропилтриметоксисилан 1 3-метакрилоксипропілтриметоксисилан 1 UV-curing 1 acrylate 1 organic-inorganic membrane 1 proton conductivity 1 sol-gel method 1 УФ-затвердевание 1 УФ-затвердження 1 акрилат золь-гель метод 1 органо-неорганическая мембрана 1 органічно-неорганічна мембрана 1 протонна провідність 1 протонная проводимость 1