low-temperature plasma 2 низькотемпературна плазма Vickers hardness 1 cylindrical plasma antenna 1 directional pattern 1 electron microscopy 1 mechanical characteristics 1 microstructure 1 pulsed barrier discharge 1 radiation 1 spectral decomposition method 1 structural steel 1 surface treatment 1 surface waves 1 випромінювання 1 диаграмма направленности 1 діаграма спрямованості 1 електронна мікроскопія 1 излучение 1 конструкційна сталь 1 метод спектрального разложения 1 метод спектрального розкладання 1 механічні характеристики 1 мікроструктура 1 низкотемпературная плазма 1 обробка поверхні 1 поверхневі хвилі 1 поверхностные волны 1 твердість по Віккерсу 1 цилиндрическая плазменная антенна 1