Показ
1 - 1
результатів із
1
Перейти до змісту
Логін
Мова
English
Deutsch
Українська
Харвестер відкритої науки НАН України
Всі поля
Назва
Назва журналу
Автор
Предмет
Опис
Тег
Full text
Знайти
Розширений
page_reload_on_deselect_hint
Видалити фільтри
applied_filters
Рекомендовані теми:
Remove filter
TSV
page_reload_on_deselect_hint
Видалити фільтри
Показати фільтри (1)
Рекомендовані теми:
Remove filter
TSV
Результати пошуку
Результати пошуку
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
3D integration technology
1
TSV
deep silicon plasma etching
1
through-silicon via
1
transformer coupled plasma source
1
источник трансформаторно-связанной плазмы
1
процесс глубокого травления кремния
1
сквозные отверстия в кремнии
1
технология трехмерной интеграции кристаллов
1
Показ
1 - 1
результатів із
1
Уточнити результати
Сортувати
Релевантність
Дата у спадаючому порядку
Дата у зростаючому порядку
Шифр
Автор
Назва
Е-пошта
Експорт
Друк
bulk_save_button
select_all_on_page
Вибрати результат під номером 1
1
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов...
за авторством
Golishnikov, А. А.
,
Putrya, M. G.
Опубліковано 2014
Отримати повний текст
Стаття
standalone_record_link
Додати у Вибране
Збережено в:
Е-пошта
Експорт
Друк
bulk_save_button
select_all_on_page
Інструменти для пошуку:
Отримати RSS-стрічку
Відправити пошук е-поштою
Зберегти пошук
Назад
Уточнити результати
page_reload_on_select_hint
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment
1 результатів
1
Формат
Стаття
1 результатів
1
Автор
Golishnikov, А. А
1 результатів
1
Putrya, M. G.
1 результатів
1
Мова
Ukrainian
1 результатів
1
Рік публікації
від:
до: