III-V compounds 1 bipolar transistor chloride-hydride epitaxy 1 field effect transistor with a Schottky barrier 1 horizontal continuous-flow reactor 1 биполярный транзистор 1 полевой транзистор с барьером Шоттки 1 прямоточный горизонтальный реактор 1 сое­ди­не­ния III-V 1 хлорид-гидридная эпитаксия 1