Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триме­тил­борат... von Turtsevich, A. S., Nalivaiko, O. Yu.

Volltext

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм von Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.

Volltext

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов von Turtsevich, A. S.

Volltext