Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей... von Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.

Volltext

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок... von Ivanchykau, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B, Plebanovich, V. I.

Volltext