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Харвестер відкритої науки НАН України
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углеродные алмазоподобные пленки
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Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок...
von
Hladkovskiy, V. V.
,
Kostin, E. G.
,
Polozov, B. P.
,
Fedorovich, O. A.
,
Petriakov, V. A.
Veröffentlicht 2014
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Institution
Technology and design in electronic equipment
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Format
Artikel
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Verfasser
Fedorovich, O. A.
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Hladkovskiy, V. V.
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Kostin, E. G.
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Petriakov, V. A.
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Polozov, B. P.
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Sprache
Ukrainian
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