Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
internal mechanical stresses
81.40.Tv
1
Czochralski technique
1
PACS 78.30.Fs
1
degradation stability of crystals
1
dielectric film
1
microelectromechanical systems
1
silicon nitride
1
silicon oxide
1
внутрiшнi механiчнi напруження
1
внутренние механические напряжения
1
деградацiйна стiйкiсть кристалiв
1
диэлектрические пленки
1
метод Чохральського
1
микроэлектромеханические системы
1
нитрид кремния
1
оксид кремния
1
-
1за авторством Klyui, N. I., Liptuga, A. I., Lozinskii, V. B., Oksanich, A. P., Pritchin, S. E., Fomovskii, F. V., Yukhymchuk, V. O.Отримати повний текст
Опубліковано 2018
Стаття -
2