Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления

by Boltovets, M. S., Borisenko, A. G., Ivanov, V. N., Fedorovich, О. А., Krivutsa, V. A., Polozov, B. P.
Published 2009