ZrO2-SiO2 aerogels 1 ZrO2-SiO2 аерогелі 1 ZrO2-SiO2 аэрогели 1 alkothermal treatment 1 mesoporous materials sol-gel synthesis 1 supercritical drying 1 алкотермальна обробка 1 алкотермальная обработка 1 золь-гель синтез 1 мезопористые материалы 1 мезопоруваті матеріали 1 суперкритическая сушка 1 суперкритична сушка 1