macroporous silicon 1 minimum relaxation time photoconductivity 1 relaxation 1 довжина хвилі освітлення 1 макропористий кремній 1 макропористый кремний 1 минимальное время релаксации 1 мінімальний час релаксації 1 релаксация 1 релаксація 1 фотопроводимость 1 фотопровідність 1