Automation of measurements of the rate of thin films chemical etching

von Іваницький, В. П., Рубіш, В. М., Тарнай, А. А., Чичура, І. І., Рубіш, В. В., Далекорей, А. В., Мешко, Р. О., Рябощук, М. М., Цигика, В. В.
Veröffentlicht 2024