silicon nitride crack resistance 3 hardness 3 structure 3 wear resistance 3 зносостійкість 3 нітрид кремнію 3 спікання під тиском 3 структура 3 твердість 3 тріщиностійкість 3 ущільнення 3 aluminum nitride 2 pressure sintering 2 sealing 2 sialon 2 нитрид кремния 2 нітрид алюмінію 2 сіалон 2 aluminium oxides 1 boron nitride 1 capacitor 1 carbides of titanium and boron 1 ceramics 1 deposition 1 grinding 1 scratches 1 seals 1 sintering under pressure 1 sludge compacting 1