Показ
1 - 1
результатів із
1
Перейти до змісту
Логін
Мова
English
Deutsch
Українська
Харвестер відкритої науки НАН України
Всі поля
Назва
Назва журналу
Автор
Предмет
Опис
Тег
Повний текст
Знайти
Розширений
page_reload_on_deselect_hint
Видалити фільтри
applied_filters
Рекомендовані теми:
Remove filter
submicron structures
page_reload_on_deselect_hint
Видалити фільтри
Показати фільтри (1)
Рекомендовані теми:
Remove filter
submicron structures
Результати пошуку
Результати пошуку
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
LSI circuits
1
defect density
1
deposition and etching
1
homoepitaxy
1
plasma technology
1
submicron structures
БИС
1
гомоэпитаксия
1
дефектность
1
осаждение и травление
1
плазменная технология
1
субмикронные структуры
1
Показ
1 - 1
результатів із
1
Уточнити результати
Сортувати
Релевантність
Дата у спадаючому порядку
Дата у зростаючому порядку
Шифр
Автор
Назва
Е-пошта
Експорт
Друк
Зберегти
Вибрати все на сторінці
Вибрати результат під номером 1
1
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
за авторством
Novosiadlyi, S. P.
Опубліковано в
Технологія та конструювання в електронній апаратурі
(2002)
Отримати повний текст
Стаття
standalone_record_link
Додати у Вибране
Збережено в:
Е-пошта
Експорт
Друк
Зберегти
Вибрати все на сторінці
Інструменти для пошуку:
Отримати RSS-стрічку
Відправити пошук е-поштою
Зберегти пошук
Назад
Уточнити результати
page_reload_on_select_hint
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment
1 результатів
1
Формат
Стаття
1 результатів
1
Автор
Novosiadlyi, S. P.
1 результатів
1
Мова
Welsh
1 результатів
1
Рік публікації
від:
до: