Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пле­нок по­ли­крис­тал­ли­чес­ко­го крем­ния, ле­ги­ро­ван­ных фос­фо­ром в про­цес­се рос­та... von Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.

Volltext

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»... von Smyntyna, V. A., Kulinich, О. А., Yatsunskii, I. R., Sviridova, O. V., Marchuk, I. A.

Volltext

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста von Nalivaiko, O. Yu., Тurtsevich, A. S.

Volltext