Физико-химические свойства оксидных систем 18 физико-химические свойства 8 фізико-хімічні властивості 8 2 6 synthesis 6 синтез 6 1 5 physicochemical properties 5 4-triazole 4 4-триазол 4 chemical properties 3 химические свойства 3 хімічні властивості 3 UDC 2 condensation and ion bombardment 2 ion implantation 2 nitride 2 physical and chemical properties 2 УДК 2 УДК 535.338.43.533.59 2 ионная имплантация 2 конденсация и ионная бомбардировка 2 конденсація і іонне бомбардування 2 методи синтезу 2 методы синтеза 2 нитрид 2 нітрид 2 іонна імплантація 2 1Н-tetrazole 1 1Н-тетразол 1