Вли­я­ние об­лу­че­ния кре­м­ния ни­з­ко­энер­ге­ти­че­ски­ми ио­на­ми ар­го­на на об­ра­зо­ва­ние в нем элек­три­че­ски ак­тив­ных де­фек­тов... von Popov, V. M., Shustov, Yu. M., Klimenko, A. S., Pokanevich, A. P.

Volltext