Search Results - "енергія іонів"

Suggested Topics within your search.
  • Showing 1 - 1 results of 1
Refine Results
  1. 1
    Cover Image

    Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем... by Hladkovskyi, V. V., Fedorovich, O. A.

    Published 2017
    Get full text
    Article

    Save to List
    Saved in:

Search Tools: