polyimide film 2 полиимидная пленка 2 acoustic system 1 membrane 1 nickel foil 1 sensor element 1 sound emitters 1 temperature measurement 1 thermoresistor 1 акустическая система 1 звуковой излучатель 1 измерение температуры 1 мембрана 1 никелевая фольга 1 терморезистор 1 чувствительные элементы 1