Результати пошуку - "реактивное распыление" :: Harvester open publications of NAS Ukraine

Вибрати результат під номером 1
1

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления за авторством Kostin, E. G., Demchyshyn, A. V.

Опубліковано 2008

Отримати повний текст

Стаття

standalone_record_link
Додати у Вибране

Збережено в: