рентгеновская установка 2 рентгеновское излучение 2 средняя энергия 2 MOS structure 1 X-ray device 1 X-ray radiation 1 X-ray tube 1 X-rays 1 air kerma power 1 anode current 1 anode voltage 1 average energy 1 half-value layer 1 homogeneity ratio 1 low-energy X-rays 1 mean photon energy 1 radiation hardness of IC 1 radiation testing 1 spectral resolution 1 x-ray unit 1 МОП-структура 1 коэффициент гомогенности 1 мощность кермы в воздухе 1 напряжение на аноде 1 низкоэнергетическое рентгеновское излучение, 1 радиационная стойкость ИС 1 радиационные испытания 1 рентгеновская трубка 1 слой половинного ослабления 1 спектральное разрешение 1