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Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста...
von
Nalivaiko, O. Yu.
,
Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht 2009
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2
Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von
Nalivaiko, O. Yu.
,
Тurtsevich, A. S.
Veröffentlicht 2012
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Institution
Technology and design in electronic equipment
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Format
Artikel
2
Verfasser
Nalivaiko, O. Yu
2
Turtsevich, A. S.
1
Тurtsevich, A. S.
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Sprache
Ukrainian
2
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Von:
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