capacitors with double layer dielectric 1 coefficient of dose dependence 1 integrated polysilicon resistors 1 n -side of the detector 1 n -стороны детектора 1 radiation resistance 1 technology of р - 1 конденсатор с двухслойным диэлектриком 1 коэффициент дозовой зависимости 1 поликремниевые интегрированные резисторы 1 радиационная стойкость 1 технология р - 1