1D nanostructures 1 1D наноструктури 1 FDTD method 1 humidity sensors 1 metal-assisted chemical etching 1 nanowires 1 optical spectra 1 silicon diode 1 silicon nanowires 1 solar cells 1 кремнієвий діод 1 кремнієві нанонитки 1 метало-стимульоване хімічне травлення 1 метод FDTD 1 нанонити 1 нанонитки 1 оптические спектры 1 оптичні спектри 1 сенсори вологи 1 солнечные элементы 1 сонячні елементи 1