MOS dosimeter 1 capacitors with double layer dielectric 1 coefficient of dose dependence 1 dose dependence 1 integrated polysilicon resistors 1 n -side of the detector 1 n -стороны детектора 1 n-MOS transistor 1 n-МОП-транзистора 1 p- 1 passive conditions 1 radiation resistance 1 radiation sensitivity 1 technology 1 technology of р - 1 thick oxide layer 1 threshold voltage 1 МОП-дозиметр 1 дозовая зависимость 1 конденсатор с двухслойным диэлектриком 1 коэффициент дозовой зависимости 1 пассивный режим 1 поликремниевые интегрированные резисторы 1 пороговое напряжение 1 радиационная стойкость 1 радиационная чувствительность 1 технология р - 1 технология р- 1 толстый слой оксида 1