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Харвестер відкритої науки НАН України
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Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках...
von
Лисовский, В.
,
Бут, Ж.П.
,
Ландри, K.
,
Дуэ, Д.
,
Ренар, Г.
,
Касань, В.
Veröffentlicht in
Физическая инженерия поверхности
(2005)
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Плазменная очистка технологических камер в высокочастотном емкостном разряде
von
Лисовский, В.
,
Бут, Ж.П.
,
Ландри, K.
,
Дуэ, Д.
,
Касань, В.
Veröffentlicht in
Физическая инженерия поверхности
(2004)
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Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
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Format
Artikel
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Verfasser
Бут, Ж.П
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Дуэ, Д
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Касань, В
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Ландри, K.
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Лисовский, В
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Ренар, Г
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Sprache
Russian
2 Treffer
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Von:
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