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1
Optical Recording of Micro- and Nano- Relief Structures on Inorganic Resists Ge-Se
von
Indutny, I. Z.
,
Kryuchyn, A. A.
,
Borodin, Yu. A.
,
Danko, V. A.
,
Lukanyuk, M. V.
,
Minko, V. I.
,
Shepelyavyi, P. E.
,
Gera, E. V.
,
Rubish, V. M.
Veröffentlicht 2013
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Institution
Data Recording, Storage & Processing
1
Format
Artikel
1
Verfasser
Borodin, Yu. A.
1
Danko, V. A.
1
Gera, E. V.
1
Indutny, I. Z.
1
Kryuchyn, A. A.
1
Lukanyuk, M. V.
1
Minko, V. I.
1
Rubish, V. M.
1
Shepelyavyi, P. E.
1
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Sprache
Russian
1
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