Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

by Лисовский, В.А.
Published 2006

Модифицированный закон Пашена для зажигания разряда постоянного тока

by Лисовский, В.А., Коваль, В.А.
Published 2008

Экспериментальное исследование затрудненного тлеющего разряда постоянного тока в азоте

by Лисовский, В.А., Кравченко, Е.А., Скубенко, Е.В.
Published 2010

Плазменная очистка технологических камер в высокочастотном емкостном разряде

by Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Касань, В.
Published 2004

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников...

by Дудин, С.В., Лисовский, В.А., Дахов, А.Н., Плетнёв, В.М.
Published 2011

Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках...

by Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Ренар, Г., Касань, В.
Published 2005