Харвестер відкритої науки НАН України

Plasma potential influence on ion energy Distribution function in ICP source

von Vozniy, O.V., Yeom, G.Y., Kropotov, A.Yu.
Veröffentlicht in Физическая инженерия поверхности (2007)

Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂

von Torianik, I.N., Beresnev, V.M., Pogrebnjak, A.D., Sobol, O.V., Beresneva, Ye.V., Podcherniaieva, I.A., Kropotov, A.Yu., Stiervoiedov, N.G., Turbin, P.V., Kolesnikov, D.A., Grankin, S.S., Nyemchenko, U.S., Srebniuk, P.A., Novikov, V.Yu.
Veröffentlicht in Физическая инженерия поверхности (2013)