Результати пошуку - Kropotov, A.Yu.
- Показ 1 - 1 результатів із 1
-
1
Plasma potential influence on ion energy Distribution function in ICP source за авторством Vozniy, O.V., Yeom, G.Y., Kropotov, A.Yu.
Опубліковано в: Физическая инженерия поверхности (2007)Отримати повний текст
Стаття