Plasma potential influence on ion energy istribution function in icp source

von O. V. Vozniy, G. Y. Yeom, Yu. Kropotov
Veröffentlicht 2007

Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2

von I. N. Torianik, V. M. Beresnev, A. D. Pogrebnjak, O. V. Sobol, Ye. V. Beresneva, I. A. Podcherniaieva, Yu. Kropotov, N. G. Stiervoiedov, P. V. Turbin, D. A. Kolesnikov
Veröffentlicht 2013