Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы

by Шулаев, В.М., Андреев, А.А., Столбовой, В.А., Прибытков, Г.А., Гурских, А.В., Коростелева, Е.Н., Коржова, В.В.
Published 2008

Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы...

by Васильев, В.В., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е., Толмачева, Г.Н., Прибытков, Г.А., Гурских, А.В., Криницын, М.Г.
Published 2015