Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок...

von Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
Veröffentlicht 2009

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния...

von Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
Veröffentlicht 2008

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

von Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
Veröffentlicht 2003