Влияние режимов ионного легирования и фотонного отжига на параметры имплантированных слоев n-GaAs:Si

за авторством Бончик, А.Ю., Ижнин, И.И., Кияк, С.Г., Савицкий, Г.В.
Опубліковано 2005

Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”

за авторством Савицкий, Г.В., Бончик, А.Ю., Ижнин, И.И., Кияк, С.Г., Могиляк, И.А., Тростинский, И.П.
Опубліковано 2002