Влияние режимов ионного легирования и фотонного отжига на параметры имплантированных слоев n-GaAs:Si von Бончик, А.Ю., Ижнин, И.И., Кияк, С.Г., Савицкий, Г.В.

Volltext

Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” von Савицкий, Г.В., Бончик, А.Ю., Ижнин, И.И., Кияк, С.Г., Могиляк, И.А., Тростинский, И.П.

Volltext