Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов

by Гончаров, А.А., Добровольский, А.Н., Павлов, С.Н., Проценко, И.М., Костин, Е.Г.
Published 2003

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок...

by Гладковский, В.В., Костин, Е.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Петряков, В.А.
Published in Технология и конструирование в электронной аппаратуре (2014)