Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния

by Куликовский, В.Ю., Ворличек, В., Богач, П., Страйнянек, М., Чтвертлик, Р., Курдюмов, А.В., Горбань, В.Ф.
Published 2008

Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота

by Фирстов, С.А., Куликовский, В.Ю., Рогуль, T.Г., Ctvrtlik, R., Пономарев, С.С., Ковыляев, В.В., Зелявский, В.Б.
Published 2011