Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний

by Лукин, К.А., Мачехин, Ю.П., Данаилов, М.Б., Татьянко, Д.Н.
Published 2011

Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии

by Лукин, К.А., Татьянко, Д.Н., Пих, А.Б., Земляный, О.В.
Published 2017

Оптический рефлектометр на основе метода спектральной интерферометрии

by Лукин, К.А., Татьянко, Д.Н., Шиян, Ю.А., Юрченко, Л.В., Базакуца, А.В.
Published 2015