Харвестер відкритої науки НАН України

Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system

von A. S. Turtsevich, O. Y. Nalivaiko
Veröffentlicht 2015

Methods and mechanisms of gettering of silicon structures in the production of integrated circuits

von V. A. Pilipenko, V. A. Gorushko, A. N. Petlitskij, V. V. Ponarjadov, A. S. Turtsevich, S. V. Shvedov
Veröffentlicht 2013

Dependence of the Structural Properties of Ferroelectric SrBi2Ta2O9 Films on the Temperature of Synthesis

von V. V. Sidskij, A. G. Rybakov, A. V. Semchenko, Ju. Osipova, V. V. Kolos, A. S. Turtsevich, A. N. Asadchij
Veröffentlicht 2014

Formation of ickel-platinum silicide layer as a barrier Schottky diodes

von P. V. Kuchinskij, F. F. Komarov, O. V. Milchanin, T. B. Kovaleva, V. A. Solodukha, A. S. Turtsevich, Ja. A. Solovev, S. V. Gaponenko
Veröffentlicht 2014