Methods and mechanisms of gettering of silicon structures in the production of integrated circuits

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2013
Автори: V. A. Pilipenko, V. A. Gorushko, A. N. Petlitskij, V. V. Ponarjadov, A. S. Turtsevich, S. V. Shvedov
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2013
Назва видання:Technology and design in electronic equipment
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405014
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS