Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування... by Normuradov, M.T., Khozhiev, Sh.T., Dovranov, K.T., Davranov, Kh.T., Davlatov, M.A., Khollokov, F.K.