Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування

• Main Authors: Normuradov, M.T., Khozhiev, Sh.T., Dovranov, K.T., Davranov, Kh.T., Davlatov, M.A., Khollokov, F.K.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Publishing house "Academperiodika" 2023
• Subjects: metal silicides; X-ray phase analysis; Miller indices; interplanar distance; strict single-crystal structure; barium titanate; amorphous phase; crystalline phase; сiлiциди металiв; рентгенiвський фазовий аналiз; iндекси Мiллера; мiжплощинна вiдстань; структура монокристала; тiтанат барiю; аморфна фаза; кристалiчна фаза
• Online Access: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022517

The study of films containing narrow-gap semiconductors is a very promising field related to the production of thermal sensors. In this work, we consider the possibility of obtaining the film coatings from silicides of Ba, Na, Ni, Co, Pd, Mn, and P and BaTiO3 using ionplasma methods. The production...