SOI MOSFETs SOI structure autoemission microcathode control circuit digital lithography electrical circuit field emission microcathode local structures silicon-on-insulator stable autoemission test structure topology КНИ МОП-транзисторы КНИ-структуры автоэмиссионные микрокатоды автоэмиссионный микрокатод локальные структуры стабильная автоэмиссия схема управления тестовая структура топология цифровая литография электрическая схема “кремний-на-изоляторе”