Buchumschlag

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров

Modern fabrication technologies of field emission cathodes are analyzed. A practical method for forming topological elements of submicron dimensions is proposed. A CMOS-based technology using micron-scale photomasks has been developed and modeled for the fabrication of single-tip, multi-tip, and bl...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2007
Hauptverfasser: Druzhynin, A. A., Holota, V. I., Kogut, I. T.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainisch
Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Schlagworte:
технология изготовления
субмикронный размер
автоэмиссионный катод
апертура электрода
электрическое поле
Online Zugang:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.50
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Online

https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.50

Ähnliche Einträge