-
1
-
2за авторством Hrechko, Ya.O., Azarenkov, N.A., Dimitrova, V.D., Borgun, Ie.V., Ryabchikov, D.L., Sereda, I.N., Hryhorenko, A.V., Tseluyko, A.F.Отримати повний текст
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2015)
Стаття -
3Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiationза авторством Borgun, Ie.V., Hrechko, Ya.O., Azarenkov, N.A., Dimitrova, V.D., Ryabchikov, D.L., Sereda, I.N., Hryhorenko, A.V., Tseluyko, A.F.Отримати повний текст
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2015)
Стаття -
4за авторством Mysiura, I.N., Girka, I.A., Azarenkov, N.A., Borgun, Ie.V., Hrechko, Ya.O., Hryhorenko, A.V., Dimitrova, V.D., Ryabchikov, D.L., Sereda, I.N., Tseluyko, A.F.Отримати повний текст
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2014)
Стаття