In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing за авторством Ju. D. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. Filatov, G. Montej

Отримати повний текст

Efficiency of polishing of anisotropic single-crystal materials for optoelectronics за авторством Ju. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov

Отримати повний текст

Polished surface roughness of optoelectronic components made of monocrystalline materials за авторством Ju. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov

Отримати повний текст

A mechanism of diamond-abrasive finishing of monocrystalline silicon carbide за авторством Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev

Отримати повний текст

Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide за авторством Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev, V. D. Kurilovich, M. A. Danilchenko, T. A. Prikhna, A. I. Borimskij, A. M. Kutsaj, V. G. Poltoratskij

Отримати повний текст