Харвестер відкритої науки НАН України

РОЗРОБКА ТЕХНОЛОГІЇ ЧИЩЕННЯ ВАКУУМНИХ ПОВЕРХОНЬ ПЛАЗМОЮ ВИСОКОЧАСТОТНОГО РОЗРЯДУ В КОМБІНАЦІЇ З РОЗРЯДОМ ПОСТІЙНОГО СТРУМУ...

von Kovtun, Yurii, Glazunov, Gennadiy, Moiseenko, Vladimir, Maznichenko, Sergiy, Bondarenko, Mikhaylo, Konotops`kyy, Oleksiy, Siusko, Yevhen, Tarasov, Igor, Shapoval, Anatoliy, Lozin, Oleksiy, Korovin, Valeriy, Kramsky, Egor, Kozulia, Mykhailo, Baron, Demyan, Listopad, Viktor, Krasyuk, Alexander
Veröffentlicht 2021