Харвестер відкритої науки НАН України

Stydy on resistivity and micostructure of magnetron sputtered α-C:Si films

von Onoprienko, A.A., Yanchuk, I.B.
Veröffentlicht in Functional Materials (2006)

Characterization of Ti–B–C–N films deposited by dc magnetron sputtering of bicomponent Ti/B₄C target

von Onoprienko, A.A., Ivashchenko, V.I., Timofeeva, I.I., Sinelnitchenko, А.К., Butenko, О.А.
Veröffentlicht in Сверхтвердые материалы (2015)

Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B₄C target

von Onoprienko, A.A., Ivashchenko, V.I., Kozak, A.O., Sinelnichenko, A.K., Tomila, T.V.
Veröffentlicht in Сверхтвердые материалы (2019)