Search Results - Ponomar, V. N.
Related Subjects
PRX chemical solutions
VLSI capacitors
combined dielectric
contact reflow operation
plasma-chemical etching
polymer contamination removal
polymer residues
silicon dioxide thickness variation
tantalum pentoxide
thermal removal method
комбинированный диэлектрик
конденсаторы СБИС
операция «оплавление контактов»
пентаоксид тантала
плазмохимическое травление
полимерные остатки
разброс толщины диоксида кремния
растворы PRX
термический метод удаления
удаление полимерных загрязнений