Результати пошуку - Ponomar, V. N.
- Показ 1 - 2 результатів із 2
-
1
Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС за авторством Pilipenko, V. A., Ponomar, V. N., Petlitskaya, T. V.
Опубліковано 2003Отримати повний текст
Стаття -
2
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением за авторством Ivanchikov, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B., Plebanovich, V. I., Ponomar, V. N., Shikulo, V. E.
Опубліковано 2003Отримати повний текст
Стаття
Інструменти для пошуку:
Пов'язані теми
PRX chemical solutions
VLSI capacitors
combined dielectric
contact reflow operation
plasma-chemical etching
polymer contamination removal
polymer residues
silicon dioxide thickness variation
tantalum pentoxide
thermal removal method
комбинированный диэлектрик
конденсаторы СБИС
операция «оплавление контактов»
пентаоксид тантала
плазмохимическое травление
полимерные остатки
разброс толщины диоксида кремния
растворы PRX
термический метод удаления
удаление полимерных загрязнений