microelectronic coordinate-sensitive detector elemental analysis мікроелектронний координатно-чутливий детектор элементный анализ 10-bit counters 10-разрядные счетчики CMOS technology VLSI convertor amplifier coordinate-sensitive detector custom VLSI flexible polyimide carrier large scale integrated circuit mass spectrometry CMOS process material composition microchannel plate specialized VLSI spectroscopy speed of the microcircuit ultrasonic welding КМОН-технологія КМОП-технология СБИС СВІС большая интегральная схема гнучкий поліімідний носій координатно-чувствительный детектор мас-спектрометрія микроканальная пластина микроэлектронный координатно-чувствительный детектор